Pẹlu idagbasoke iyara ti 5G, oye atọwọda (AI) ati Intanẹẹti ti Awọn nkan (IoT), ibeere fun awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe giga ni ile-iṣẹ semikondokito ti pọ si pupọ.Zirconium tetrachloride (ZrCl₄), gẹgẹbi ohun elo semikondokito pataki, ti di ohun elo aise ti ko ṣe pataki fun awọn eerun ilana ilọsiwaju (bii 3nm / 2nm) nitori ipa bọtini rẹ ni igbaradi ti awọn fiimu giga-k.
Zirconium tetrachloride ati awọn fiimu giga-k
Ni iṣelọpọ semikondokito, awọn fiimu giga-k jẹ ọkan ninu awọn ohun elo bọtini fun imudarasi iṣẹ-pipẹ. Gẹgẹbi ilana idinku lilọsiwaju ti awọn ohun elo dielectric ẹnu-ọna ohun alumọni ti aṣa (bii SiO₂), sisanra wọn sunmọ opin ti ara, ti o fa jijo pọ si ati ilosoke pataki ninu lilo agbara. Awọn ohun elo giga-k (bii zirconium oxide, hafnium oxide, bbl) le mu imunadoko pọ si sisanra ti ara ti Layer dielectric, dinku ipa ipa-ọna, ati nitorinaa mu iduroṣinṣin ati iṣẹ awọn ẹrọ itanna ṣiṣẹ.
Zirconium tetrachloride jẹ iṣaju pataki fun igbaradi ti awọn fiimu giga-k. Zirconium tetrachloride le ṣe iyipada si awọn fiimu ohun elo afẹfẹ zirconium mimọ-giga nipasẹ awọn ilana bii ifisilẹ eeru ti kemikali (CVD) tabi ifisilẹ Layer atomiki (ALD). Awọn fiimu wọnyi ni awọn ohun-ini dielectric ti o dara julọ ati pe o le ṣe ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe ati ṣiṣe agbara ti awọn eerun igi. Fun apẹẹrẹ, TSMC ṣafihan ọpọlọpọ awọn ohun elo tuntun ati awọn ilọsiwaju ilana ni ilana 2nm rẹ, pẹlu ohun elo ti awọn fiimu igbagbogbo dielectric giga, eyiti o ṣaṣeyọri ilosoke ninu iwuwo transistor ati idinku ninu lilo agbara.
Agbaye Ipese pq dainamiki
Ninu pq ipese semikondokito agbaye, ipese ati ilana iṣelọpọ tizirconium tetrachloridejẹ pataki si idagbasoke ile-iṣẹ naa. Ni bayi, awọn orilẹ-ede ati awọn agbegbe bii China, Amẹrika ati Japan wa ni ipo pataki ni iṣelọpọ ti tetrachloride zirconium ati awọn ohun elo igbagbogbo dielectric giga ti o ni ibatan.
Awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ati awọn ireti iwaju
Awọn aṣeyọri imọ-ẹrọ jẹ awọn ifosiwewe bọtini ni igbega ohun elo ti tetrachloride zirconium ni ile-iṣẹ semikondokito. Ni awọn ọdun aipẹ, iṣapeye ti ilana ifisilẹ Layer atomiki (ALD) ti di aaye ibi-iwadii kan. Ilana ALD le ṣe iṣakoso deede sisanra ati isokan ti fiimu naa ni nanoscale, nitorinaa imudarasi didara awọn fiimu igbagbogbo dielectric giga. Fun apẹẹrẹ, ẹgbẹ iwadii ti Liu Lei ti Ile-ẹkọ giga Peking pese fiimu amorphous igbagbogbo dielectric giga nipasẹ ọna kẹmika tutu ati ṣaṣeyọri lo si awọn ẹrọ eletiriki onisẹpo meji.
Ni afikun, bi awọn ilana semikondokito tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju si awọn iwọn kekere, ipari ohun elo ti zirconium tetrachloride tun n pọ si. Fun apẹẹrẹ, TSMC ngbero lati ṣaṣeyọri iṣelọpọ ibi-pupọ ti imọ-ẹrọ 2nm ni idaji keji ti ọdun 2025, ati pe Samsung tun n ṣe agbega si iwadi ati idagbasoke ti ilana 2nm rẹ. Imudani ti awọn ilana ilọsiwaju wọnyi ko ṣe iyatọ si atilẹyin ti awọn fiimu igbagbogbo dielectric giga, ati zirconium tetrachloride, gẹgẹbi ohun elo aise bọtini, jẹ pataki ti ara ẹni.
Ni akojọpọ, ipa bọtini ti zirconium tetrachloride ninu ile-iṣẹ semikondokito n di olokiki si. Pẹlu olokiki ti 5G, AI ati Intanẹẹti ti Awọn nkan, ibeere fun awọn eerun iṣẹ ṣiṣe giga tẹsiwaju lati pọ si. Zirconium tetrachloride, gẹgẹbi aṣaaju pataki ti awọn fiimu igbagbogbo dielectric giga, yoo ṣe ipa ti ko ni rọpo ni igbega si idagbasoke ti imọ-ẹrọ chirún iran ti nbọ. Ni ọjọ iwaju, pẹlu ilọsiwaju ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ ati iṣapeye ti pq ipese agbaye, awọn ireti ohun elo ti tetrachloride zirconium yoo gbooro sii.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 14-2025